基板搬送装置、显影装置以及显影方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.97千字
约 9页
2023-05-16 发布于北京
举报
版权申诉

基板搬送装置、显影装置以及显影方法.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种基板搬送装置、显影装置以及显影方法。本发明有效地防止通过盛在基板表面的显影液来进行显影处理时所产生的泡经由搬送辊而附着于基板的表面。本发明包括：搬送辊，一边从下方支撑基板一边旋转，以搬送基板；以及除泡构件，在由搬送辊所搬送的基板的下方侧与搬送辊非接触地配置，将从盛在搬送中的基板上的显影液产生并附着于搬送辊的泡中的、从搬送辊的周面堆积的部位予以去除。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114779592 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202111511682.9 (22)申请日 2021.12.06 (30)优先权数据 2021-008431 202