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本发明公开了一种增强栅控能力的p型氮化镓器件,包括:衬底,由下至上依次包括氮化镓层、氮化铝镓层和P型氮化镓层,衬底表面包括源极区、与源极区相对的漏极区、以及位于源极区和漏极区之间的栅极区,栅极区包括第一刻蚀区和自第一刻蚀区两侧向外延伸的第二刻蚀区,第一刻蚀区向内部分刻蚀P型氮化镓层以形成第一凹槽,第二刻蚀区向内完全刻蚀P型氮化镓层以形成第二凹槽;源极;漏极;介电层;栅极;接触电极,位于第二凹槽内,接触电极的一端与氮化镓层表面接触,另一端与栅极底部接触;使得接触电极能够与氮化镓层表面的二维电子气接
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114759089 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202210421280.8
(22)申请日 2022.04.21
(71)申请人 西交利物浦大学
地址 215123
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