电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法.pdf

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本发明提供一种电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法，对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质的图像。电荷粒子线装置具备：试料台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114709120 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210355239.5 (22)申请日 2017.04.21 (62)分案原申请数据 201780089056.0