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本公开提供了一种具有电子传输层的紫外发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管技术领域。发光层与n型AlGaN层之间增加电子传输层,且电子传输层包括BN/n‑AlGaN/石墨烯超晶格,BN子层增加势垒高度,提高发光均匀度;并且BN子层中B原子的半径较小,减少会延伸至发光层内的缺陷。n‑AlGaN子层提供电子,提高可进入发光层的电子的浓度。石墨烯子层可以起到隔离缺陷与发光层的作用,降低发光层内缺陷。得到的紫外发光二极管的发光效率与发光均匀度均可得到提高。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114725261 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210195161.5 (22)申请日 2022.03.01 (71)申请人 华灿光电(浙江)有限公司 地址 3
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