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用于投射曝光设备的照明光学单元的多分面反射镜.pdfVIP

用于投射曝光设备的照明光学单元的多分面反射镜.pdf

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    一种用于投射印刷系统的照明光学单元的多分面反射镜具有多个可移位的单独分面(8i)，该单独分面具有分面主体(35)和配备在其上的反射表面(36)，其中，单独分面(8i)中的至少一个子组合具有位移范围，使得子组合在一个或多个位移位置中与邻接表面(38)接触。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730136 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080079949.9 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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