一种基于复合式支撑平台的激光剥离巨量转移设备.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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一种基于复合式支撑平台的激光剥离巨量转移设备.pdf

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本发明公开了一种基于复合式支撑平台的激光剥离巨量转移设备，由激光相机系统、玻璃板传送系统和基板传送系统三部分组成，激光相机系统主要包括大理石平台、激光相机支撑梁、相机组件、激光头和光源；玻璃板传送系统主要包括：支座、直线电机、限位板、玻璃板传送架组件、上光栅尺和玻璃板载台组件；基板传送系统主要包括：下光栅尺、基板传送架直线电机、限位块、基板传送架组件、固定板组件、光栅尺和磁力支撑调节平台。借助激光剥离芯片至目标焊点，采用机械导轨实现基板和玻璃板快速宏运动对准，利用磁力支撑调节平台实现基板与玻璃板

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114743914 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210340107.5 (22)申请日 2022.04.01 (71)申请人北京石油化工学院