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根据实施例的激光晶化设备包括:光源单元,照射激光束;以及光学单元,激光束入射到光学单元,其中,光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分,并且基于与激光束的入射方向平行的方向,第一部分的第一宽度和第二部分的第二宽度在结合表面上彼此相同。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717656 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210003640.2 C01B 33/021 (2006.01)
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