一种节能高效的超声波真空清洗单元.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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一种节能高效的超声波真空清洗单元.pdf

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本发明公开了一种节能高效的超声波真空清洗单元，其涉及超声波清洗设备领域。其技术方案要点包括：清洗槽；用于将所述清洗槽开口闭合的外盖板；还包括：设置于所述清洗槽内的内盖板；以及，用于驱动所述内盖板沿竖直方向移动的内盖板驱动组件；其中，所述内盖板用于承载清洗件；工作时，所述内盖板驱动组件驱动所述内盖板和清洗件一起浸入清洗液中。本发明能够有效阻止清洗液的挥发，降低清洗液的损耗，从而能够节约资源，降低生产成本，并提高清洗效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114733842 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210374854.0 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人卓尔半导体设备（苏州）有限公司地址