图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约11.22万字
约 82页
2023-05-15 发布于北京
举报
版权申诉

图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种图案形成方法、上述图案形成方法中所使用的光固化性树脂组合物、包括上述图案形成方法的层叠体的制造方法及包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法或光固化性树脂组合物，所述图案形成方法包括：第1曝光工序，曝光由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分；显影工序，通过显影液对上述曝光后的上述光固化性膜进行显影来获得显影图案；及第2曝光工序，曝光上述显影图案来获得图案，上述光固化性树脂组合物为特定组成。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730145 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080080358.3 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任