一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法.pdf

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本申请公开了一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法，包括：提供基底；在所述基底上设置光刻材料形成与悬臂梁尺寸对应的薄膜，所述悬臂梁包括相互连接的悬臂梁体和支撑立柱；基于预先输入的悬臂梁结构图使用电子束依次对所述薄膜中设定的悬臂梁体区域和支撑立柱区域进行电子束三维直写曝光得到待显影悬臂梁结构；对所述待显影悬臂梁结构显影定影得到与所述悬臂梁结构图对应的悬臂梁结构，所述悬臂梁结构中的悬臂梁体受电子辐照形变可恢复。该蛋白质纳米悬臂梁通过电子束直写制备而成，不会引入杂质离子的污染问题，通过改变不同加速电压和曝

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114715837 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202011530038.1 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术