化学机械抛光组合物及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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化学机械抛光组合物及其使用方法.pdf

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本发明涉及化学机械抛光组合物及其使用方法。本公开内容提供了可以对包含多种金属例如钴和钨的基底进行抛光的组合物。所述组合物可以在减轻腐蚀的同时提供这些金属的有利的可去除速率，并且显示出相对于其他材料的有利的抛光选择性比。本公开内容的抛光组合物可以包含至少一种磨料；至少一种有机酸；至少一种阴离子表面活性剂；至少一种含有具有6至24碳烷基链的烷基胺的第一胺化合物；至少一种含唑化合物；任选地，含有氨基醇的第二胺化合物；水性溶剂；以及任选地，pH调节剂。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114716916 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202111564440.6 (22)申请日 2021.12.20 (30)优先权数据 63/128,415 2020