一种硬质涂层增韧结构及韧性评估方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种硬质涂层增韧结构及韧性评估方法.pdf

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本发明提供一种物理气相沉积硬质涂层多层六边形结构设计增韧及韧性评估方法。硬质涂层多层六边形结构设计增韧具体为软层和硬层交替沉积。在软层沉积过程中，通过在挡板上设计正六边形通孔，实现基体三分之一区域均布的软层沉积，其余部分由挡板遮挡。通过三次软层和硬层的交替沉积完成一个调制周期的涂层增韧设计，根据需求可实现多个周期的调制。在一个调制周期内，每次软层沉积时的正六边形软层区域不会在基体的同一区域重叠。涂层韧性评估通过在两块基体上同时沉积涂层，且两块基体的端面完全对接在一起，保证对接面光滑，有良好的贴合

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717515 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210357831.9 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人北京理工大学地址 100081