一种薄膜表面沉铜用高稳定镀液及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种薄膜表面沉铜用高稳定镀液及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种薄膜表面沉铜用高稳定镀液及其制备方法，涉及化学镀铜技术领域。本发明在制备薄膜表面沉铜用高稳定镀液时，先将丙烯酸甲酯和二乙烯三胺反应制得预聚体，将1‑氨基‑5‑己烯和预聚体进行初步聚合，再加入预聚体进行支化聚合制得超支化络合剂，将甲基二硅氧烷和八甲基环四硅氧烷反应制得单端含氢硅油，将超支化络合剂和单端含氢硅油反应制得改性超支化络合剂，将无水硫酸铜、甲醛、改性超支化络合剂、二甲苯、纯水、2,2‑联吡啶和2‑巯基苯并噻唑混合，调节pH后制得薄膜表面沉铜用高稳定镀液。本发明制备的薄膜表

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114703469 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210387563.5 (22)申请日 2022.04.14 (71)申请人江苏矽智半导体科技有限公司地址