一种基于薄膜溅射技术的一体式多维力传感器.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种基于薄膜溅射技术的一体式多维力传感器.pdf

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本发明涉及一种基于薄膜溅射技术的一体式多维力传感器，属于力和力矩的测量技术领域。本发明的一体式多维力传感器的转换元件采用溅射镀膜工艺而制成的敏感薄膜；通过在弹性体各个应变梁的应力敏感区通过溅射薄膜应变计，四个薄膜应变计组成一组惠斯通电桥，从而能够实现多维载荷测量，薄膜应变计具有寿命高、稳定性好、精度高、动态响应强等特点，且薄膜应变计的温度范围‑70℃‑200℃；通过合理分布薄膜应变计位置，合理组桥，能够实现多维载荷的测量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114720028 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210204136.9 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人陕西电器研究所地址 710025