碳化钽坩埚及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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碳化钽坩埚及其制备方法和应用.pdf

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本发明提供一种碳化钽坩埚，其包括：碳化钽坩埚本体，其中所述碳化钽坩埚本体具有均匀壁厚，以及所述碳化钽坩埚本体包括具有上端开口的圆筒状侧壁和呈下凹的空心半球状底壁；其中所述侧壁和所述底壁一体成型；碳化钽坩埚盖，其尺寸和形状被设计为匹配于所述上端开口，以将所述上端开口闭合。本发明还提供一种制备本发明的碳化钽坩埚的方法。本发明还提供本发明的碳化钽坩埚或者本发明的方法制得的碳化钽坩埚在晶体生长，特别是氮化铝晶体生长中的应用。本发明的碳化钽坩埚解决传统一体式坩埚易于开裂的问题和分体式坩埚带来损失原料、退化

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114672881 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202011572743.8 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人中国科学院物理研究