一种硅片、硅片绒面结构及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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一种硅片、硅片绒面结构及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种硅片、硅片绒面结构及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)碱液中对硅片进行各向异性碱制绒处理，烘干后得到第一硅片；(2)在步骤(1)所得第一硅片的电极设置区域丝网印刷纳米金属颗粒浆料，烘干后得到第二硅片；(3)对步骤(2)所得第二硅片依次进行酸蚀处理与酸洗处理，烘干后完成硅片绒面结构的制备。本发明利用丝网印刷在电极设置区域设置纳米金属颗粒，然后通过酸蚀处理得到纳米级孔洞绒面，便于在电极设置区域实现高浓度掺杂并在非电极设置区域实现低浓度掺杂；而且，通过使丝网印刷所用网版与设置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114695591 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011567032.1 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人苏州阿特斯阳光电力科技有限公司地址