负型感光性树脂组合物以及图案形成方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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负型感光性树脂组合物以及图案形成方法.pdf

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本发明提供一种在图案形成中难以产生底切的负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。采用含有含环氧基化合物、光阳离子聚合引发剂、具有以通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的负型感光性树脂组合物。含环氧基化合物包含酚醛清漆型环氧树脂。光阳离子聚合引发剂包含鎓硼酸盐。通式(ahs1)中，R为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的卤代烷基。YaX1为单键或者2价的连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。[化1]

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114675492 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202111269347.2 (22)申请日 2021.10.29 (30)优先权数据 2020-215538 202