射频调节装置、等离子体处理设备及射频电场调节方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约8.3千字
约 8页
2023-05-14 发布于四川
举报
版权申诉

射频调节装置、等离子体处理设备及射频电场调节方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种射频调节装置，等离子体处理设备及射频电场调节方法，包括位于等离子体处理设备的反应腔和内衬之间的挡板，和控制挡板移动的驱动组件，通过改变挡板的位置来调节等离子体处理设备内部射频回路的电容，进而调整射频电场的均匀性，有效弥补因在反应腔侧壁开设传片口或者反应腔内部组件的不对称产生的射频电场不均匀，使形成的等离子体更加均一稳定，为基片表面的加工良率提供保证。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114695042 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011577065.4 (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公