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极紫外光设备与其运作方法.pdfVIP

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    一种极紫外光设备与其运作方法，极紫外光设备包括腔室、极紫外光源以及自由基源。极紫外光源设置向腔室内发射出极紫外光束。自由基源位于腔室内并邻近于极紫外光束通过的路径上。自由基源设置以向路径发射多个自由基。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690572 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011592548.1 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址

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