腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.42万字
约 12页
2023-05-14 发布于四川
举报
版权申诉

腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请提供了一种腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置，该方法包括：将颗粒吸附结构送入真空腔体内；向颗粒吸附结构发射预定电荷，使得颗粒吸附结构带上预定电荷，预定电荷为正电荷和/或负电荷；在颗粒吸附结构带上预定电荷预定时间段之后，将颗粒吸附结构送出真空腔体。通过使颗粒吸附结构带上预定电荷，利用静电吸附原理，来吸附真空腔体内的与预定电荷电性相反的颗粒，再将吸附了颗粒的颗粒吸附结构送出真空腔体，相比现有技术，该方法无需打开真空腔体放为大气做清洁，节省了人力成本，并且避免了清洁耗时较长、效率低下的问题

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114675496 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202011555622.2 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人无锡迪思微电子有限公司地址 21