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衬底杂质移除方法及衬底处理设备.pdfVIP

衬底杂质移除方法及衬底处理设备.pdf

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    本公开涉及一种缩短移除杂质的时间且提高移除杂质的效率的衬底杂质移除方法及衬底处理设备。衬底杂质移除方法包括：使设置在第一腔室部件中的衬底的温度升高到杂质移除温度的温度升高过程；将衬底从第一腔室部件转移到第二腔室部件的转移过程；以及将转移到第二腔室部件中的衬底维持在杂质移除温度的维持过程。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114628231 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202111500160.9 (22)申请日 2021.12.09 (30)优先权数据

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