制备样本的方法、计算机程序产品及材料加工装置.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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制备样本的方法、计算机程序产品及材料加工装置.pdf

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本发明涉及一种用于通过使用材料加工装置来在物体上制备样本的方法。本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的材料加工装置。该方法包括：沿第一线在第一方向上引导光束经过物体的表面，其中在引导光束经过物体的表面时对物体的材料进行削磨；将第一方向改变为第二方向；沿第二线在第二方向上引导光束经过物体的表面，其中在沿第二线引导光束经过物体的表面时对物体的材料进行削磨，其中以脉冲的方式提供光束并且将光束引导到物体的表面上，其方式为使得在光束装置的第一操作状态下光束从物体削磨材料并且在第二操作状态下没

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116046823 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211326479.9 (22)申请日 2022.10.27 (30)优先权数据 102021128117.2