一种曲线掩膜的数字图像生成方法、装置及计算机设备.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种曲线掩膜的数字图像生成方法、装置及计算机设备.pdf

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本发明涉及光刻技术领域，其特别涉及一种曲线掩膜的数字图像生成方法、装置及计算机设备，本发明提供的一种曲线掩膜的数字图像生成方法，包括以下步骤：基于预处理图像的像素点提取轮廓点并基于轮廓点建立贝塞尔曲线的数学曲线模型；基于数学曲线模型对预处理图像进行预处理获得数字信号图像；对数字信号图像依次进行卷积处理和降采样处理以生成数字图像。本发明还提供一种装置及计算机设备。解决了现有技术生成数字图像效率低，清晰度差问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116051669 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211288403.1 (22)申请日 2022.10.20 (71)申请人东方晶源微电子科技(北京)有限公