双织构表面太阳能选择性吸收涂层的制备方法及该涂层.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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双织构表面太阳能选择性吸收涂层的制备方法及该涂层.pdf

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本发明提供一种双织构表面太阳能选择性吸收涂层的制备方法及该涂层，包括：准备磁控溅射设备，摆放好溅射靶材、弧电源、转盘、衬底，抽真空并加热；引入高纯Ar气，设置衬底负偏压，开启弧电源，Ar在弧电源的作用下在衬底表面刻蚀出所需的织构表面；沉积多层吸收涂层：关闭弧电源，并旋转转盘使得转盘上的衬底与溅射靶材平行，打开射频电源并设置参数，同时向腔室内通入高纯Ar气、氧气，依次设置不同的O2/Ar比，溅射出溅射靶材的物质并沉积至衬底上形成梯度多层吸收涂层；沉积合金氧化物或纯金属氧化物抗反射涂层；再次通过Ar

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114635105 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202210392635.5 (51)Int.Cl.