一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法.pdf

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本发明属于热流传感器领域，具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好；批量制备技术设计思路简单易行，在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上，通过特殊的图形化结构设计，一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器，易于工业化大批量生产，大大提高工作效率，降低了成本。同时，可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品，便于在测试时，根据不同需求选择不同个数样品进行测试，能够有效应对大热流场的测量需求应用场景，便于形成集成传感器芯片模块，充分发挥微系统

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639768 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210286974.5 G01K 17/00 (2006.01)