一种用于安装水平磁场单晶炉的炉外装料装置和方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种用于安装水平磁场单晶炉的炉外装料装置和方法.pdf

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本发明公开了一种用于安装水平磁场单晶炉的炉外装料装置，属于单晶炉技术领域，其技术方案要点包括支撑座，所述支撑座的顶部设置有旋转组件，所述旋转组件的顶部固定安装有轴承端盖，所述旋转组件的外侧设置有电动推杆，所述电动推杆的活动端和旋转组件的外侧设置有吊臂。本发明轴套通过滚子轴承进行转动，对吊臂的角度进行调整，通过控制电动推杆进行伸缩，对坩埚的水平角度进行调整，通过吸盘将坩埚吸附，整体灵活性强，采用机械的方式代替传统人工装料的方式，降低了工作人员的劳动强度，且缩短了装料时间，极大的提升了工作效率，同时

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114622273 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210362850.0 (22)申请日 2022.04.08 (71)申请人宁夏中晶半导体材料