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本公开涉及用于外围区域的掩埋连接线。一种设备包含衬底及安置于所述衬底上的存储器单元阵列。所述设备还包含安置于所述衬底上邻近所述存储器单元阵列的外围区中的逻辑单元。所述设备进一步包含安置于所述衬底中所述外围区中的沟槽隔离区。所述沟槽隔离区分离所述逻辑单元的第一有源区域与所述逻辑单元的第二有源区域或分离所述逻辑单元与邻近逻辑单元。所述逻辑单元包含掩埋于所述沟槽隔离区内的连接线。所述连接线可在形成掩埋字线的同一制造工艺期间作为所述对应掩埋字线的延伸部形成于所述存储器单元阵列区中。通过使所述掩埋字线延伸
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116056451 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211323863.3 H10B 69/00 (2023.01)
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