一种线形结构侧向电极制备的定位方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种线形结构侧向电极制备的定位方法.pdf

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本发明属于先进制造技术领域，涉及一种线形结构侧向电极制备的定位方法。利用光沿直线传播原理，借助双光源调整线形结构与掩模的位置，实现线形结构与掩模缝隙中心对称。首先负压吸附转移线形结构至掩模缝隙周围，打开双光源，并借助定位挡板、微位移平台、探针不断移动线形结构，通过底部光线明暗度判断线形结构在掩模上的位置，最终实现线形结构在掩模缝隙上的定位。此定位方法通过光线明暗度，控制线形结构在掩模上的位置，实现线形结构制备侧向电极时在掩模上位置的定位，实现不同尺寸、不同数量线形结构侧向电极的制备，该方法易于实

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639597 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210200511.2 (22)申请日 2022.02.26 (71)申请人宁波大学地址 315211 浙江