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一种带芯片基板的制造方法,包括:准备层叠基板,该层叠基板包括多个所述芯片、暂时地接合有多个所述芯片的第一基板、以及隔着多个所述芯片与所述第一基板接合的第二基板;以及将与所述第一基板及所述第二基板接合的多个所述芯片从所述第一基板分离,以与第三基板的包括器件层的一面接合。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586135 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080073979.9 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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