反射镜器件的制造方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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反射镜器件的制造方法.pdf

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本发明的反射镜器件的制造方法，其中，反射镜器件具备：包含基底部和支撑在基底部的可动部的结构体、以及设置在可动部的反射镜层，本发明的反射镜器件的制造方法具备：准备具有支撑层、器件层和配置在支撑层与器件层之间的中间层的晶圆的第一工序；在第一工序之后，通过将支撑层、器件层和中间层中的各个的一部分从晶圆去除，以可动部相对于基底部可动的方式在晶圆形成狭缝，并且将分别与结构体对应的多个部分形成在晶圆的第二工序；在第二工序之后，实施通过清洗液清洗晶圆的湿法清洗的第三工序；以及在第三工序之后，将多个部分中的各个

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114585585 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080073186.7 (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限