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本发明公开了一种基于N个谐响应MEMS敏感单元集成的声压/振速FFT传感器及其工作方法。敏感芯片安装于信号处理阵列电路板上，通过金丝将敏感芯片的单元输出电极与信号处理阵列电路板上的输入电极相连接，信号处理阵列电路板通过螺钉与结构主体基座相连接，信号处理阵列电路板的下方设置信号处理电路板，信号处理电路板通过螺钉与结构主体基座相连接，结构主体基座被输出电缆穿过，输出电缆的线皮与屏蔽线通过压板固定于结构主体基座上，输出电缆的芯线与信号处理电路板焊接，信号处理阵列电路板与信号处理电路板通过导线焊接。在硅
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116086593 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310054324.2 (22)申请日 2023.02.03 (71)申请人 哈尔滨工程大学
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