在光刻设备中使用的光学部件和夹具.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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在光刻设备中使用的光学部件和夹具.pdf

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本文描述了一种光学元件和包括光学元件的光刻设备。所述光学元件包括：第一构件，具有弯曲光学表面和传热表面；以及第二构件包括至少一个凹槽，至少一个凹槽抵靠传热表面密封以在第一构件和第二构件之间形成至少一个封闭通道，以允许流体流过，对所述弯曲光学表面进行热调节。在实施例中，传热表面的暴露于至少一个封闭通道的区域沿着类似于弯曲光学表面的弯曲轮廓的弯曲轮廓被定位。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114585973 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080074258.X (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任