波导-光纤耦合装置及其制作方法、光传输系统.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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波导-光纤耦合装置及其制作方法、光传输系统.pdf

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本申请公开了一种波导‑光纤耦合装置的制作方法、光传输系统及波导‑光纤耦合装置，该制作方法包括：在衬底基板的包层薄膜一侧上形成芯层波导薄膜，通过显影蚀刻或激光烧蚀或压印的方式同时加工出波导阵列及与之相连接的锥形沟槽阵列；在锥形沟槽阵列远离波导阵列的一端分别加工出第一凹槽和第二凹槽，以固定光纤带。本申请通过将锥形沟槽阵列与波导阵列一体化工艺加工完成，位置精度高，耦合对位精准，简化工艺流程，且该耦合结构固定牢固、可靠，不易受震动、碰撞等外力因素的影响，可有效提高光传输系统的稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114578486 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011383535.3 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人深南电路股份有限公