一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法.pdf

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本申请提供了一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法。所述ITO蚀刻液包括以下重量份数的各组分：20‑22份的盐酸，6‑7份的硝酸，0.5‑3份的酸抑制剂，0.5‑3份的表面活性剂，以及水；其中，所述酸抑制剂包括N,N‑二异丙基乙胺、N,N‑二异丙基乙醇胺中的至少一种；所述表面活性剂包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一种。本申请提供的ITO蚀刻液，其可控性强、蚀刻角度平滑、精度高，能在短时间内完成材料的蚀刻，蚀刻后材料的关键尺寸损失小于0.4μm，蚀刻角度小于35.5°，蚀刻洁净度高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114507529 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202111519658.X (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人福建中安高新材料研究院有限公司地址