体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置.pdf

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一种体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置，其中体声波谐振装置包括：空腔；第一电极层，第一电极层的至少一端位于空腔上方或内部；压电层，空腔及第一电极层位于压电层的第一侧；第二电极层，位于第二侧；第一无源结构，位于第一侧，与第一电极层的至少一个边缘具有第一重合部；第二无源结构，位于第二侧，与第二电极层的至少一个边缘具有第二重合部；第一无源结构包括：第一抬起部，位于谐振区内侧；第一延伸部，位于谐振区外侧，第一抬起部相对第一延伸部凸起；其中，第二无源结构包括：第二抬起部，位于谐振区内侧；第

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114499451 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210225433.1 (22)申请日 2022.03.07 (66)本国优先权数据 202110808180.6