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振动器件,抑制温度传感器电路中的检测温度与振动元件实际温度间的误差导致的振荡特性劣化。振动器件(1)包含:基座(2),包含半导体基板(20)和贯通半导体基板(20)的第1面(21)与第2面间的贯通电极(40、41);振动元件(5),隔着导电性的接合部件固定于第1面(21)侧。第2面(22)设有:振荡电路(11),经由贯通电极(40、41)与振动元件(5)电连接,使振动元件(5)振荡而生成振荡信号;温度传感器电路(16);温度补偿电路(15),进行振荡信号的温度补偿;输出缓冲电路(12),输出基于
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114553141 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111404056.X (22)申请日 2021.11.24 (30)优先权数据 2020-195824 202
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