一种计算机控制的化学机械抛光装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种计算机控制的化学机械抛光装置.pdf

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本发明公开了一种计算机控制的化学机械抛光装置，包括底座，所述底座上端固定连接有液压油缸，所述液压油缸活动端固定连接有安装板，所述安装板上端固定连接有抛光垫，所述底座上端固定连接有U型架，所述U型架内顶部固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有圆盘，所述圆盘上安装有固定机构，所述固定机构包括对称固定连接在圆盘下端的多个固定轴，多个所述固定轴下端均固定连接有固定块，所述固定块下端开设有固定槽，所述固定槽内壁对称开设有两个滑槽，两个所述滑槽内壁滑动连接有两个固定杆。本发明中的清洁机构可以快速的将工件表

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114473808 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210181173.2 B24B 55/12 (2006.01) (22)申请日 2022.02.