衍射光学元件的多层薄膜堆叠.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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衍射光学元件的多层薄膜堆叠.pdf

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本申请涉及衍射光学元件的多层薄膜堆叠。光学元件可以包括衬底。光学元件可以包括形成在衬底上的用于特定波长范围的第一抗反射结构。光学元件可包括设置在第一抗反射结构的一部分上的至少一个层。光学元件可包括形成在该至少一个层上的用于该特定波长范围的第二抗反射结构。可以选择在第一抗反射结构的第一表面和第二抗反射结构的第二表面之间的深度、第一抗反射结构的第一折射率、第二抗反射结构的第二折射率和至少一层的第三折射率，以形成与特定波长的特定相位延迟相关联的衍射光学元件。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114509829 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210050543.9 (51)Int.Cl.