光学系统及其干涉物镜模块.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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光学系统及其干涉物镜模块.pdf

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本文提供了干涉物镜模块，其包括物镜以及干涉模块，该干涉模块包括与物镜分开安置以提供参考臂的参考板、用于分离来自从物镜源光的分束器，以及用于传输来自分束器的分束光以提供样品臂的样品板，其中干涉模块被配置用于使干涉物镜模块的焦平面和干涉平面的距离在测量期间变化，并且其中干涉物镜模块的焦平面与干涉平面在测量期间相交。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114554942 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202080072381.8 (74)专利代理机构北京安信方达知识产权代理