一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法.pdf

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本发明公开了一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，涉及硅片刻蚀领域，包括加装平板、安装感应器、调节涂液组件、感应器报警和硅片刻蚀，且具体实施步骤如下：步骤一：加装平板，在滚轮带液刻蚀设备的滚轮下加装一个平板，同时使滚轮的外表面和背部均与限位组件相接触。本发明通过设置有涂液组件，当将硅片放置于滚轮上后，使用者通过移动涂液海绵，涂液海绵移动会带动滑块在滑槽内部滑动，当涂液海绵与硅片的两侧相接触后，使用者将固定螺栓旋入至螺栓孔内部，以对滑块进行固定，防止滑块随意带动涂液海绵移动，而涂液海绵吸附溶液后，由于硅

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481331 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210076630.1 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人江西中弘晶能科技有限公司地址 3