探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法.pdf

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本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114486729 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202110687515.3 (22)申请日 2021.06.21 (30)优先权数据 2020-180813 202