微弱光光谱测量器件和光谱仪.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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微弱光光谱测量器件和光谱仪.pdf

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本发明属于光谱设备领域，提供一种微弱光光谱测量器件和光谱仪，包括衬底和设置在衬底上表面的至少两个探测单元，一个探测单元包括一个光调制微纳结构单元和一个超导纳米线单光子探测器单元。光调制微纳结构单元可以对入射光光谱实现一定的调制作用，超导纳米线单光子探测器单元用于探测调制后的光子，或者本身也作为光调制结构与已有的光调制微纳结构单元共同对光子产生光谱调制作用并探测光子，使每个探测单元均具有宽光谱探测特征，可使用计算光谱重建的方法测量光谱，使光子利用率大大提高。光调制微纳结构本身的谐振作用也具有增强超

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114497343 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111580401.5 H01L 31/09 (2006.01)