硅棒切割方法、设备及系统.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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硅棒切割方法、设备及系统.pdf

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本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统，其中，方法包括：以平行于硅棒长度方向的第一切面对硅棒进行切割，所述第一切面的数量为至少三个，各第一切面平行且间隔设置，得到具有两个平行平面及相接在两个平面之间的弧面的至少两个中间棒、以及具有一平面及与该平面相接的弧面的边皮料；以平行于硅棒长度方向的第二切面对中间棒进行切割，所述第二切面与第一切面垂直；第二切面的数量为两个，分布于硅棒中心线的两侧，以得到截面为矩形的小硅棒。本申请实施例提供的硅棒切割方法、设备及系统能够解决传统方案由大硅片切割小硅片所存

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114454370 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202110957187.4 (22)申请日 2021.08.19 (66)本国优先权数据