阀控制装置、真空阀以及阀控制方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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阀控制装置、真空阀以及阀控制方法.pdf

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本发明提供一种阀控制装置、真空阀以及阀控制方法，可确保反馈控制的控制稳定性并且实现响应性提高。阀控制装置(2)包括：存储部(23)，存储反馈增益，所述反馈增益是与依存于阀本体(1)的阀体开度的参数对应地设定；以及调压控制器(21)，基于反馈增益而对阀体开度进行反馈控制，反馈增益是以由阀体驱动系统的主要振动所引起的、调压控制器(21)的振动性频率的灵敏度函数的大小的极大值成为与控制稳定性相关的规定基准值以下的方式设定。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114484039 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011160705.1 (22)申请日 2020.10.27 (71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都