控制样本检验的工艺.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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控制样本检验的工艺.pdf

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本发明提供用于控制样本检验的工艺的方法及系统。一个系统包含一或多个计算机子系统，所述一或多个计算机子系统经配置用于确定针对样本上的关注区域的多个例项产生的差异图像的统计特性，及确定所述统计特性相较于针对一或多个其它样本上的所述关注区域的多个例项产生的差异图像的统计特性的变动。另外，所述一或多个计算机子系统经配置用于基于所述变动确定用于检测所述样本上的所述关注区域中的缺陷的一或多个参数的一或多个改变。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114503155 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080069658.1 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限