一种P型掺杂层朝前的异质结光伏电池的制备方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种P型掺杂层朝前的异质结光伏电池的制备方法.pdf

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本发明公开了一种P型掺杂层朝前的异质结光伏电池的制备方法，所述方法包括如下步骤：硅片预清洗；PSG氧化层沉积及高温处理；去除表面的PSG/USG氧化层，用碱液去损伤和制绒，并清洗；PECVD镀膜制备表面钝化膜层和掺杂膜层；PVD磁控溅射制备透明导电膜；表面形成金属栅线。本发明把P型掺杂的薄膜层前置，可以降低对硅片品质的敏感性，为了消除原有P型非晶硅的缺点，用含氧型P型微晶代替传统P行非晶硅膜层，同时增大能带带隙和提高导电性，传统上成本较低的铸锭单晶方式也可以导入异质结的规模量产，对异质结的持续降

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114497246 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011147172.3 (22)申请日 2020.10.23 (71)申请人福建新峰二维材料科技有限公司地址