可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法.pdf

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本发明提供了一种可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法，该石墨舟包含盖板、工字块、滑块、垫块和基座；滑块用于放置垫块，液相外延生长时衬底放置于垫块上；基座、滑块、工字块、盖板四个部分从下向上依次组装在一起；工字块与滑块接触部分开槽形成方形腔体，当外延材料从垫块上被顶出后，顶出的外延材料被方形腔体卡住，此时滑块继续移动，从而完成外延材料与滑块的分离；基座中心设置成一块楔形结构，当滑块中的垫块经过楔形结构时，该垫块被向上顶出，与工字块中的腔体一起配合完成自动取片。本发明避免了待母液完全冷

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481305 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011157541.7 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人昆明物理研究所地址 650221