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2023-05-09 发布于北京
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一种移相器.pdf

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本发明提供一种移相器，所述移相器包括衬底、设置在所述衬底上的信号线、在所述衬底上的成对设置的地线以及设置在所述衬底上的至少一个膜桥，同一对所述地线中的两根分别位于所述信号线的两侧且与所述信号线间隔设置，所述膜桥的两端分别设置在两根所述地线上，所述信号线位于所述膜桥与所述衬底围成的空间中，所述膜桥包括与所述信号线相对设置的金属层，且所述金属层上形成有多个沿厚度方向贯穿所述金属层的开孔。在本发明中，所述膜桥的金属层上形成有多个开孔，从而可以通过开孔释放膜桥内的残余应力，降低通过所述膜桥与信号线之间的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114497929 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011150296.7 (22)申请日 2020.10.23 (71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址