一种功率器件的体内多区连续终端结构及制备方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种功率器件的体内多区连续终端结构及制备方法.pdf

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本发明涉及一种功率器件的体内多区连续终端结构及制备方法，该多区连续终端结构包括：第一电极、衬底区、外延区、多区终端结构、氧化层和第二电极，第一电极、衬底区和外延区依次层叠；多区终端结构包括至少两个子终端，至少两个子终端埋设于外延区中且沿外延区的水平方向连续设置，靠近有源区的子终端与有源区相接触；氧化层位于外延区上且位于多区终端结构的上方；第二电极位于外延区上且位于有源区中，第二电极与氧化层相邻。该结构中将多区终端结构埋设在外延区中，使得多区终端结构不易受到表面钝化层内部电荷的影响，降低了器件界面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114497178 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111541512.5 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人陕西半导体先导技术