分批型衬底处理设备.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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分批型衬底处理设备.pdf

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本发明提供一种将在排放空间中分解的处理气体供应到处理空间中的分批型衬底处理设备，所述排放空间不同于处理空间。分批型衬底处理设备包含：反应管，配置成提供处理空间；等离子体形成部件，具有排放空间，所述排放空间通过分隔壁与处理空间区分开，且通过沿反应管的纵向方向延伸的多个电极在排放空间中产生等离子体。多个电极包含彼此间隔开的多个电源电极及设置于多个电源电极之间的多个接地电极。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114496698 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111241951.4 (22)申请日 2021.10.25 (30)优先权数据 10-2020-0139301